Laser Planar Interferometer

Laser Planar Interferometer (LPI-100), med sin dynamiska mäthastighet i realtid på upp till 15 bilder per sekund, kan realtidsdetektera ytformen på plana optiska element inom en 100 mm bländare. Strålen som bär ytforminformationen för det uppmätta elementet diffrakteras genom ett speciellt kodat gitter, som i sidled skär vågfronten i fyra delar, och bildar ett gemensamt skjuvande tvådimensionellt interferensmönster med fyra vågfronter. Genom att demodulera den tvådimensionella interferensen kan ytforminformationen för elementet erhållas.

Varuspecifikation:

Funktion hos BOJIONG Laser Planar Interferometer

◆ Upp till 15 bildrutor av dynamisk realtidsmätning

◆2nm RMS Hög fasupplösning

◆ Superhög upplösning med 262144 faspunkter

◆ Kan realisera dynamisk detektering i realtid, kan uppnå 15 bilder/sekund dynamisk detektering

◆Med oberoende immateriella rättigheter, kostnadseffektiv, enkel justering, kompakt struktur

◆Baserat på principen om gemensam kanal självstörning, behöver utrustningen inte en referensspegel, och har en stark motståndsförmåga Interferens, i den vanliga fabriksmiljön kan också uppnå exakt detektering av plan yta

Applicering av BOJIONG Laser Planar Interferometer

Denna BOJIONGLaser Planar Interferometer är utrustad med FIS4 fyra-vågs interferometriska sensorer för att detektera standardformen av den plana spegeln, och bearbetningsmjukvaran matar ut PV-värdet, RMS-värdet och POWER-värdet för ytan på den testade komponenten.

BOJIONG Laser Planar Interferometer Detaljer

BOJIONG Planar fyra-vågs dynamisk interferometer övergripande layoutdiagram

Funktionsmodulerna i BOJIONG Laser Planar Interferometer kan delas in i en belysningsljuskällsmodul, en sekundär strålexpansionsmodul, en bärarmodul, en punktfokuseringsmodul för att hjälpa till med att justera provets attityd och en interferometrisk sensormodul för att detektera provets ytform .

Ljuskällmodulen i systemet använder en gasheliumneonlaser med en central våglängd på 632,8 nm.

Den sekundära strålexpansionsmodulen utökar strålstorleken till 100 mm, vilket uppfyller kraven för detektering med stor diameter.

Plattsektionen används för att placera plana optiska komponenter som ska testas, såsom platta kristaller, enkelkastskivor, fönsterchips, plana reflektorer etc. Laddningssteget är utrustat med rörliga handhjul i X- och Y-riktningen för att styra provets rörelse skede, så att utrustningens emitterade ljusfläck helt täcker ytan av testprovet. Samtidigt är två knoppar installerade på scenen för att justera provets lutning. Genom att justera dessa rattar görs testplanet vinkelrätt mot den optiska axeln.

Bildsystemet har ett dubbelt kamerasystem. En av dem använder en optisk bildkamera för att bilda en punktfokuseringsmodul för att hjälpa till med att justera hållningen. Genom att observera provets returpunktsposition i realtid justeras provets hållning för att säkerställa mätnoggrannhet. Den andra vägen är utrustad med FIS4 fyra-vågs interferometrisk sensor, som bildar en interferometrisk sensormodul för detektering av provytform. Genom att registrera gemensamma väginterferometriska fransar kan realtidsåterkoppling av tredimensionell information på ytan av testprovet uppnås. Det dubbla kamerasystemet kan arbeta samtidigt.

Professionell mjukvarumodul

◆ Utrustad med programvaran "Laser Planar Interferometer" kan den visa och mata ut 3D-bilder i realtid av det uppmätta optiska elementplanet, utmatade PV-värden, RMS-värden och POWER-värden för den uppmätta ytan.

◆Samtidigt stöder programvaran export av rådata av mätresultat, ger stöd för kvantitativ detekteringsdata för olika studier och underlättar för användare att utföra dataanalys och forskning i framtiden.