FIS4 fyra-vågs interferometersensorär utvecklad av ett team av professorer från Zhejiang University och Nanyang Technological University, Singapore. Den har inhemsk patentteknik, kombinerar diffraktion och interferens, realiserar common-path fyra-vågs lateral skjuvinterferens, har superdetektionskänslighet och vibrationsmotstånd och kan uppnå realtid, höghastighets dynamisk interferometermätning utan vibrationsisolering; bildfrekvensen för realtidsmätningen når mer än 10 bildrutor. Samtidigt har FIS4-sensorn en ultrahög fasupplösning på 512×512 (260 000 faspunkter), mätbandet täcker 200nm~15μm, mätkänsligheten når 2nm, och mätningsrepeterbarheten är bättre än 1/1000λ ( RMS). Den kan användas för laserstrålekvalitetsanalys, plasmaflödesfältdetektering, höghastighetsflödesfältdistribution i realtid, utvärdering av optisk systembildkvalitet, mikroskopisk konturmätning och biologisk cellkvantitativ fasavbildning, etc.
FIS4 interferenssensor enkelstrålstörning optisk väg
Arbetsprincipen för fyrvågsinterferenssensorn är att vågfronten som ska detekteras diffrakteras av ett slumpmässigt kodat hybridgitter och fyra diffrakterade ljus genereras i två ortogonala riktningar. Dessa fyra diffrakterade ljus interfererar på bildytan och fyra vågfronts laterala skjuvningsinterferensfransar kan erhållas.
Fördelar med fyrvågsstörningssensorn: en optisk vägstörning har superstarkt vibrationsmotstånd, inget referensljus krävs, enkel layout, ingen speciell interferensenhet krävs, snabb och enkel justering, realtidsavbildning är möjlig, ingen fasförskjutning process krävs, och den är särskilt lämplig för högprecisionsdetektering i fabriksmiljöer.
